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새로운 반도체장비 개발과
시장을 선도다양한 종류의 반도체 제조장비와
레이저를 이용한 반도체 완성품 패키지, PCB
마킹장비, 비전 검사장비를 개발해 국내는 물론이고
미국, 중국 등 세계 시장에 공급하고 있습니다.
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Spin coater
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marketing!@genesem.com
Domestic
- 박이규 (이사)
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Spin Coater System
- Wafer cassette loader: 8˝(12˝) & elevator cassette detection by sensor
- Wafer guide rail unit
- Wafer transfer robot unit servo motor driven, wafer pick up by gripper
- Wafer pick & place robot unit dual arm, servo motor driver, vacuum picker
- Spin coater unit 1 ~ 1500 rpm, dual precision dispenser
- Cycle time: 9 secs/wafer
TECHNICAL DOCUMENTS
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